对材料微区进行元素定性半定量分析(点扫)；线扫时可提供样品中元素沿某条扫描线上的分布；彩色mapping图可显示元素的分布情况；同时在对材料进行失效分析时进行元素测定、辅助金相分析等 >

微观形貌观察：广泛应用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医药、半导体材料及器件、地质勘探、病虫害防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定等领域工业生产中的产品质量鉴定和生产过程控制等 >