阴极荧光光谱（cathodoluminescence spectroscopy）简称CL谱，是指利用电子束激发半导体，将价带电子激发到导带并在价带留下空穴，而后由于导带能量高不稳定，被激发电子又重新跃迁回价带与空穴复合，并释放出能量E≤Eg（能隙）的特征荧光谱。